电器出产职业半导体制作工艺有机废气处理设备
1、电子职业出产厂家处理有机废气和毒气的处理方法
现在，半导体制作进程中排放的含有有机成分的废气(voc)通常选用直接燃烧、活性炭吸附、生物氧化等方法进行处理。
2、针对电子厂废气处理半导体职业有机废气和毒性气体的管理，低温等离子废气处理技能的净化原理是：
将普通的220V/380V交流电经过变压器，变频器转换为高频高压的电压，发生足以击穿气体的电压，释放出高能电子，高能电子损坏有机废气中的气体分子之间的化学键，断开这些化学键从而发生了各种碳原子、氧原子、氢原子、氢氧自由基、臭氧等混合体，等离子体中的氧原子和碳原子结合构成二氧化碳，氧原子和氢原子结合构成水分子，终究发生排放到***气中的气体为无污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。
3、电子厂废气处理低温等离子废气处理技能具有以下长处：
放电发生的低温等离子体中，电子能量高，几乎能够和所有的恶臭气体分子效果。
反响快，不受气速限制。
选用防腐蚀材料。
只需用电，操作极为简略。
设备发动、停止十分迅速，随用随开，常温常压下即能运用。
气阻小，适用于***风量的废气处理设备。
4、电子厂废气处理低温等离子废气处理技能应用***域：集成电路出产企业、分立器材出产企业、光电组件出产企业。
5、半导体企业废气排放***征分析
半导体职业废气排放具有排气量***、排放浓度小的***点。
6、半导体职业有机废气和毒气的来源
半导体制作工艺发生的挥发性有机废气，主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序，与半导体制作工艺比较，半导体封装工艺发生的有机废气较为简略，主要为晶粒张贴、封胶后烘烤进程发生的烘烤废气。
